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水平气浮台

By www.8998hj.com - 01.05,2018

水平气浮台

水平气浮台,包括底座,所述底座上罩扣有槽型X向滑台,所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台;所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔,当所述第一进气孔导入气体时,所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜;所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔,当所述第二进气孔导入气体时,所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。本发明所述的水平气浮台中,以底座的顶面为唯一基准面,使得Y向滑台不会再有X向滑台导致的累计误差,从而能够更加精确的控制设备的X向运动和Y向运动。



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